Источники быстрых атомов газа и атомов металла для обработки изделий
Тип носителя:
Однотомник.
Место издания:
Москва
Издательство:
КУРС
Год издания:
2019
Объем:
175, [1] с.
Аннотация:
В монографии рассматриваются источники широких пучков быстрых нейтральных атомов газа и потоков атомов металла для обработки поверхности изделий. Излагаются физические основы генерации используемого в них плазменного эмиттера ионов в тлеющем разряде с электростатическим удержанием электронов. Описаны источники для синтеза покрытий на изделиях сложной геометрической формы из диэлектрических материалов с единой эмиссионной сеткой для атомов металла и сопровождающих их быстрых атомов газа. Анализируются результаты применения источников для активации поверхности перед осаждением покрытий на изделия из любых материалов, травления поверхности диэлектриков, осаждения и удаления износостойких покрытий
Федеральное государственное бюджетное учреждение культуры «Российская государственная библиотека для молодёжи»
Главное здание
107061 Москва, ул. Б. Черкизовская, дом 4, корпус 1 Метро «Преображенская площадь» (выход №5) Телефон для справок: +7 499 670-80-01 E-mail: info@rgub.ru
Филиал библиотеки МИКК «Особняк В.Д. Носова»
107023 Москва, ул. Электрозаводская, 12, стр. 1 Метро «Электрозаводская» Телефоны для справок: +7 499 670-80-01 (доб. 600) E-mail: mansion@rgub.ru