Учебное пособие разработано в соответствии с государственным образовательным стандартом высшего профессионального образования по направлению подготовки дипломированных специалистов 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника».Впервые технологии микро- и наноэлектроники рассмотрены неразрывно с технологиями высокочистых веществ и материалов в основополагающем ключе «высокая чистота материала — высокое качество продукции». Пособие может быть использовано студентами всех форм обучения, в том числе и по смежным специальностям.
Федеральное государственное бюджетное учреждение культуры «Российская государственная библиотека для молодёжи»
Главное здание
107061 Москва, ул. Б. Черкизовская, дом 4, корпус 1 Метро «Преображенская площадь» (выход №5) Телефон для справок: +7 499 670-80-01 E-mail: info@rgub.ru
Филиал библиотеки — ИКК «Особняк В.Д. Носова»
107023 Москва, ул. Электрозаводская, 12, стр. 1 Метро «Электрозаводская» Телефоны для справок: +7 499 670-80-01 (доб. 600) E-mail: mansion@rgub.ru
![Борисенко А. С., Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств. [Учеб. для сред. спец. учеб. заведений] — 1983](/searchcat/covers/RGUB-BIBL-0000698634.jpg)
![Новиков Ю. В., Основы цифровой схемотехники. Базовые элементы и схемы. Методы проектирования. [Учебник] — 2001 (Современная схемотехника)](/searchcat/covers/RGUB-BIBL-0000828069.jpg)