В учебном пособии изложены вопросы конструирования и особенности основных видов технологического оборудования полупроводникового производства. Сформулированы требования к оборудованию, определяемые технологическими процессами, и даны практические рекомендации по их реализации. Наряду с рассмотрением отдельных видов устройств отмечена необходимость системного подхода к комплексной механизации и автоматизации производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Учебное пособие предназначено для студентов вузов, изучающих оборудование полупроводникового производства в курсах «Полупроводниковые и микроэлектронные приборы» и «Технология специальных материалов электронной техники». Оно также может быть использовано студентами специальности «Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение»
Федеральное государственное бюджетное учреждение культуры «Российская государственная библиотека для молодёжи»
Главное здание
107061 Москва, ул. Б. Черкизовская, дом 4, корпус 1 Метро «Преображенская площадь» (выход №5) Телефон для справок: +7 499 670-80-01 E-mail: info@rgub.ru
Филиал библиотеки — МИКК «Особняк В.Д. Носова»
107023 Москва, ул. Электрозаводская, 12, стр. 1 Метро «Электрозаводская» Телефоны для справок: +7 499 670-80-01 (доб. 600) E-mail: mansion@rgub.ru
![Овечкин Ю. А., Полупроводниковые приборы. [Учеб. для радиотехн. спец. техникумов] — 1986 (Учебник для техникумов)](/searchcat/covers/RGUB-BIBL-0000707512.jpg "Овечкин Ю. А., Полупроводниковые приборы. [Учеб. для радиотехн. спец. техникумов] — 1986 (Учебник для техникумов)»")
![Евсеев Ю.А., Силовые полупроводниковые приборы. [Учеб. для техникумов] — 1981 (Для учащихся техникумов)](/searchcat/covers/RGUB-BIBL-0000707479.jpg "Евсеев Ю.А., Силовые полупроводниковые приборы. [Учеб. для техникумов] — 1981 (Для учащихся техникумов)»")
