Изложены сведения о конструкторско-технологических вариантах исполнения элементов и компонентов микросхем, микропроцессоров и микросборок. Дано детальное описание технологических маршрутов их производства. Уделено особое внимание вопросам анализа и синтеза технологических маршрутов, обеспечению качества изделий микроэлектроники и эффективности их производства. представлены и проанализированы с точки зрения их использования в микроэлектронной аппаратуре современные конструкций изделий микроэлектроники. Для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Конструирование и производство радиоаппаратуры»
Федеральное государственное бюджетное учреждение культуры «Российская государственная библиотека для молодёжи»
Главное здание
107061 Москва, ул. Б. Черкизовская, дом 4, корпус 1 Метро «Преображенская площадь» (выход №5) Телефон для справок: +7 499 670-80-01 E-mail: info@rgub.ru
Филиал библиотеки — ИКК «Особняк В.Д. Носова»
107023 Москва, ул. Электрозаводская, 12, стр. 1 Метро «Электрозаводская» Телефоны для справок: +7 499 670-80-01 (доб. 600) E-mail: mansion@rgub.ru
![Панфилов Ю. В., Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы. [Учеб. для сред. спец. учеб. заведений] — 1988 (Учебник для техникумов)](/searchcat/covers/RGUB-BIBL-0000697342.jpg)