Рассмотрены физико-технологические основы процессов изготовления интегральных микросхем и формирования сложных пленочных структур элементов интегральных микроэлектронных устройств. Описаны перспективные технологические методы производства интегральных полупроводниковых и гибридных микросхем и микропроцессоров, а также используемое технологическое оборудование. По сравнению с первым изданием (1977 г.) материал значительно обновлен и методически переработан. Для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Конструирование и производство радиоаппаратуры» и «Конструирование и производство электронно-вычислительной аппаратуры»
Федеральное государственное бюджетное учреждение культуры «Российская государственная библиотека для молодёжи»
Главное здание
107061 Москва, ул. Б. Черкизовская, дом 4, корпус 1 Метро «Преображенская площадь» (выход №5) Телефон для справок: +7 499 670-80-01 E-mail: info@rgub.ru
Филиал библиотеки — ИКК «Особняк В.Д. Носова»
107023 Москва, ул. Электрозаводская, 12, стр. 1 Метро «Электрозаводская» Телефоны для справок: +7 499 670-80-01 (доб. 600) E-mail: mansion@rgub.ru
![Панфилов Ю. В., Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы. [Учеб. для сред. спец. учеб. заведений] — 1988 (Учебник для техникумов)](/searchcat/covers/RGUB-BIBL-0000697342.jpg)
