Описаны основные технологические процессы производства микросхем: механической обработки полупроводников и диэлектриков, очистки пластин и подложек, обеспечения топологии микросхем, получения пленок, формирования полупроводниковых слоев и переходов, сборки и герметизации, а также типовые технологические маршруты изготовления микросхем различного конструктивно-технологического исполнения. Содержание книги, в отличие от первого издания (1980 г.) приведено в соответствие современному уровню науки и производства. Для учащихся средних специальных учебных заведений по специальности «Производство изделий электронной техники»
Федеральное государственное бюджетное учреждение культуры «Российская государственная библиотека для молодёжи»
Главное здание
107061 Москва, ул. Б. Черкизовская, дом 4, корпус 1 Метро «Преображенская площадь» (выход №5) Телефон для справок: +7 499 670-80-01 E-mail: info@rgub.ru
Филиал библиотеки — ИКК «Особняк В.Д. Носова»
107023 Москва, ул. Электрозаводская, 12, стр. 1 Метро «Электрозаводская» Телефоны для справок: +7 499 670-80-01 (доб. 600) E-mail: mansion@rgub.ru
![Николаев И. М., Интегральные микросхемы и основы их проектирования. [Учеб. для сред. спец. учеб. заведений] — 1992 (Учебник для техникумов)](/searchcat/covers/RGUB-BIBL-0000356968.jpg)
