Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники
Тип носителя:
Однотомник.
Место издания:
Москва
Издательство:
Высш. шк.
Год издания:
1991
Объем:
333,[1] с.
Аннотация:
В книге рассматриваются вопросы разработки систем управления основными технологическими процессами интегральных микросхем, в том числе вопросы моделирования и идентификации технологического оборудования, разработки информационно-измерительных систем, управляющих и исполнительных устройств, а также систем, управления некоторых конкретных технологических процессов и технологического микроклимата
Федеральное государственное бюджетное учреждение культуры «Российская государственная библиотека для молодёжи»
Главное здание
107061 Москва, ул. Б. Черкизовская, дом 4, корпус 1 Метро «Преображенская площадь» (выход №5) Телефон для справок: +7 499 670-80-01 E-mail: info@rgub.ru
Филиал библиотеки — МИКК «Особняк В.Д. Носова»
107023 Москва, ул. Электрозаводская, 12, стр. 1 Метро «Электрозаводская» Телефоны для справок: +7 499 670-80-01 (доб. 600) E-mail: mansion@rgub.ru
![Панфилов Ю. В., Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы. [Учеб. для сред. спец. учеб. заведений] — 1988 (Учебник для техникумов)](/searchcat/covers/RGUB-BIBL-0000697342.jpg "Панфилов Ю. В., Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы. [Учеб. для сред. спец. учеб. заведений] — 1988 (Учебник для техникумов)»")
