В книге даны основные представления о физике вакуума; рассмотрены процессы переноса при низких давлениях, сорбционные процессы, течение газов по трубопроводам; обсуждены принципы действия основных типов вакуумных насосов, их характеристики и возможности использования в различных системах откачки; .описаны способы измерения вакуума, анализ парциальных давлений, течеискание; приведены типовые схемы вакуумных машин и установок, дан общий порядок расчета и проектирования вакуумных систем. Предназначается для студентов специальности «Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение»
Федеральное государственное бюджетное учреждение культуры «Российская государственная библиотека для молодёжи»
Главное здание
107061 Москва, ул. Б. Черкизовская, дом 4, корпус 1 Метро «Преображенская площадь» (выход №5) Телефон для справок: +7 499 670-80-01 E-mail: info@rgub.ru
Филиал библиотеки — ИКК «Особняк В.Д. Носова»
107023 Москва, ул. Электрозаводская, 12, стр. 1 Метро «Электрозаводская» Телефоны для справок: +7 499 670-80-01 (доб. 600) E-mail: mansion@rgub.ru
![Теория и расчет турбокомпрессоров. [Учеб. пособие для машиностроит. спец. вузов] — 1986 (Для вузов)](/searchcat/covers/RGUB-BIBL-0000329425.jpg)
![Поспелов Г. А., Руководство по курсовому и дипломному проектированию по холодильным и комрессорным машинам. [Учеб. пособие для втузов] — 1986 (Для вузов)](/searchcat/covers/RGUB-BIBL-0000642833.jpg)